半導體尾氣處理塔的作用（半導體尾氣處理塔的用途有哪些）
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半導體行業廢氣按照其廢氣處理工藝分為：酸性廢氣處理（SEX）、鹼性廢氣處理(AEX)、有機廢氣處理(VEX)和一般排氣(GEX)等，其廢氣處理系統包括：酸性廢氣處理設備、鹼性廢氣處理設備、有機廢氣處理設備等。本文將就上述設備（半導體尾氣處理塔）分別介紹其作用。
半導體LOCAL SCRUBBER 尾氣處理設備作用
等離子水洗Local Scrubber設備的作用是去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝製程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體，如：CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
（k8凯发(中国)環保集團LOCAL SCRUBBER 尾氣處理設備，點擊了解詳情）
半導體酸鹼洗滌塔的作用
酸鹼洗滌塔的主要作用是用於處理酸鹼類無機廢氣。其設備廣泛應用於半導體、電子、PCB、化工、製藥、電鍍、食品、紡織等眾多行業。對製程中產生的具有腐蝕性的工業酸鹼廢氣、臭氣和除塵系統的前置處理，淨化效果明顯。
（k8凯发(中国)環保集團臥式洗滌塔，點擊了解詳情）
半導體砷磷烷吸附塔的作用
主要作用用於處理半導體摻雜製程工序時產生的砷烷、磷烷和硼烷有毒有害廢氣。砷磷烷吸附塔利用化學反應、複分解反應等基本原理，與各種廢氣產生化學反應，生成穩定的無毒無害的化合物或者複合物，可直接用於修路、垃圾填埋等，不會產生二次污染。
（k8凯发(中国)環保集團砷磷烷吸附塔，點擊了解詳情）
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