半導體行業產生的六氟乙烷有機廢氣該如何處理（六氟乙烷廢氣處理方法）
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六氟乙烷，也稱為全氟乙烷，化學式為C2F6，是一種有機化合物，常溫常壓下外觀為無色氣體狀，無臭無味，無毒性。六氟乙烷微溶於水，可溶於乙醇，不ke燃，但與可燃氣體一同燃燒時，會分解排放出有毒氣體氟化氫，在密閉容器中遇高熱，有開裂與爆炸危險。半導體是六氟乙烷的重要下游市場，電子級六氟乙烷是重要的等離子蝕刻氣體，可應用在矽、氮化矽、磷矽等材料蝕刻方面，並可對電子器件表面進行清洗，可以廣泛應用在集成電路、微電子器件、光纖光纜、太陽能電池等領域。本文將介紹半導體行業產生的六氟乙烷有機廢氣該如何處理？
六氟乙烷廢氣處理方法/工藝
六氟乙烷製備工藝較多，主要有熱分解法、電化學氟化法、直接氟化法、金屬氟化物氟化法、氟化氫催化氟化法等。因廢氣風量、種類、成分、濃度及溫度不同，所選用的廢氣處理設備及工藝也有所不同。
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