k8凯发(中国)

中芯北方半導體廢氣治理工程

中芯北方集成電路製造(北京)有限公司成立於2013年7約,是中芯國際與北京市政府共同投資設立的12英寸先jin製程集成電路製造廠。

中芯北方

k8凯发(中国)作為中芯北方的大廠商,長期為客戶提供全生命周期工藝排氣系統一站式解決方案。提供了中芯北方P2-10K/15K/18K酸鹼廢氣系統、事故排風系統、一般排風系統解決方案及項目建設,並參與P2B工藝排氣系統項目建設。

廢氣處理系統

酸鹼廢氣系統主要工藝路線:

收集管路➡集管➡酸性/鹼性化學洗滌塔➡耐腐蝕風機➡煙囪(達標排放)

 

事故排風系統主要工藝路線:

收集管路➡集管➡酸性/鹼性化學洗滌塔/有機廢氣處理系統➡風機➡煙囪(達標排放)

 

一般排風系統解決方案:

收集管路➡集管➡風機➡煙囪

示意圖

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