k8凯发(中国)

    中芯紹興半導體製程排氣廢氣治理系統工程

    中芯集成電路製造(紹興)有限公司(中芯紹興,SMEC)成立於2018年3月,總部位於浙江紹興,主要工藝平台是從中芯國際集成電路製造有限公司(SMIC)授權轉移而來的MEMS,IGBT和MOSFET。是一家專注在為客戶提供特色工藝集成電路晶片及模塊封裝的代工生產製造服務的供應商。中芯紹興自成立以來,聚焦在人工智能、移動通信、車載、工控等L域,通過構建持續研發和產業化能力,努力實現在微機電系統和高端功率器件製造工藝方面,達到國際流的水平的目標。

    紹興中芯

    2020年初,中標FAB廠房40K排氣系統的擴充項目,包括SEX系統:2套*65000CMH、EPISEX系統:1套*12000CMH、AEX系統:2套*14000CMH、GEX系統:1套*65000CMH、VEX系統:2套25000CMH系統及exhaust系統的自控及上位機系統,預計於2020年中下旬完成此擴充項目的建設。

    廢氣處理系統

    k8凯发(中国)作為中芯集成電路製造(紹興)有限公司的廢氣系統解決方案供應商,在2019年,完成FAB廠房13k排氣系統的建設,包括SEX系統:3套*65000CMH、EPI。SEX系統:2套*12000CMH、AEX系統:2套*10000CMH、GEX系統:3套*65000CMH、VEX系統:2套*20000CMH,砷排放系統:2套*1000CMH及exhaust系統的自控及上位機系統,保證系統穩定運行。

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