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燕東微電子半導體製程排氣廢氣治理系統工程

北京燕東微電子有限公司是一家專業化的集成電路設計、製造、銷售於一體的IDM高科技企業,國內Y秀的模擬集成電路及分立器件製造商。

燕東微電子

2018年,新建一條8英寸集成電路生產線,SEX系統風量75000CMH,6套;AEX系統風量75000CMH,2套。2019年,又對生產線進行擴充,增加2套SEX系統,風量20000CM、3套VEX系統,風量20000CMH。酸鹼(SEX/AEX)排氣系統廢氣成分複雜,處理要求高,排放標準遠高於國家排放要求。為此,我司為客戶定製專屬的解決方案,包括工藝設計、空間管理、設備生產及施工、運營維護等全生命周期服務,實現超低排放。

廢氣治理系統

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