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中科晶電半導體製程排氣廢氣治理系統工程

忻州中科晶電信息材料有限公司(業主)是由中科晶電集團控股成員企業與忻州開發區通匯建設發展有限責任公司共同投資設立的一家高科技新型半導體材料企業,公司以研發、生產和銷售砷化鎵襯底材料為主,投資約2.5億元,建設2-6英寸砷化鎵襯底材料大規模生產線。

中科晶電

廠區內廢氣治理系統共7套,分別為:備料過程中石英管清晰和氮化硼坩堝清洗產生的酸鹼廢氣、單晶脫模使用甲醇產生的有機廢氣,晶片拋光清洗過程中產生的酸鹼廢氣、砷化鎵晶片在切磨過程中的酸鹼廢氣、砷化鎵多晶及單晶切割加工過程產生的粉塵廢氣,其中酸鹼廢氣處理系統4套,有機廢氣處理系統2套,粉塵處理系統1套。

廢氣治理系統

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