砷磷烷吸附劑
ASH、PH吸附劑,是針對泛半導體行業磷砷烷等劇毒氣體自主研發的高效乾式吸附劑。 利用酸鹼中和反應、氧化還原反應、復分…【查看應用案例】
處理氣體:硫化氫、氮化氫、氯氣等酸性氣體
處理效率:>99%
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ASH、PH吸附劑,是針對泛半導體行業磷砷烷等劇毒氣體自主研發的高效乾式吸附劑。利用酸鹼中和反應、氧化還原反應、複分解反應等基本原理,採用特種的活性金屬氧化物以及鹼性金屬氧化物為主要活性成分,複合成為高效吸附劑,可與砷磷烷氣體產生化學反應,將氣態砷磷元素捕獲、固化ZUI終實現統一無害化處理,實現廢氣的達標排放。
砷磷烷吸附劑物化特性
材料性質 | 單位 | GLSD-ASA-1 | GLSD-ASA-2 |
---|---|---|---|
規 格 | mm | 球形(Φ3-5) | 柱狀(Φ3) |
堆積密度 | (g/ml) | ~790 | ~560 |
比表面積 | (m2/g) | ~200 | ~670 |
顆粒強度 | (N) | 264 | 153 |
含水量 | (%) | <5% | 10% |
耐溫性 | (℃) | 450 | 350 |
處理效率 | (%) | >99% | >99% |
砷磷烷吸附劑圖片
砷磷烷吸附劑吸附性能
吸附容量(L/L) | ||
氣體 | GLSD-AsA-1 | GLSD-AsA-2 |
AsH3 | 66.8 | 65.2 |
PH3 | 62.7 | 60.3 |