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砷磷烷吸附劑

ASH、PH吸附劑,是針對泛半導體行業磷砷烷等劇毒氣體自主研發的高效乾式吸附劑。 利用酸鹼中和反應、氧化還原反應、復分…【查看應用案例

處理氣體:硫化氫、氮化氫、氯氣等酸性氣體

處理效率:>99%

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ASH、PH吸附劑,是針對泛半導體行業磷砷烷等劇毒氣體自主研發的高效乾式吸附劑。利用酸鹼中和反應、氧化還原反應、複分解反應等基本原理,採用特種的活性金屬氧化物以及鹼性金屬氧化物為主要活性成分,複合成為高效吸附劑,可與砷磷烷氣體產生化學反應,將氣態砷磷元素捕獲、固化ZUI終實現統一無害化處理,實現廢氣的達標排放。

砷磷烷吸附劑物化特性

材料性質 單位 GLSD-ASA-1 GLSD-ASA-2
規        格 mm 球形(Φ3-5) 柱狀(Φ3)
堆積密度 (g/ml) ~790 ~560
比表面積 (m2/g) ~200 ~670
顆粒強度 (N) 264 153
含水量 (%) <5% 10%
耐溫性 (℃) 450 350
處理效率 (%) >99% >99%

砷磷烷吸附劑圖片

砷磷烷吸附劑圖片

砷磷烷吸附劑吸附性能

  吸附容量(L/L)
氣體 GLSD-AsA-1 GLSD-AsA-2
AsH3 66.8 65.2
PH3 62.7 60.3