半導體行業大氣污染物濃度測定方法標準有哪些(半導體大氣污染物項目及濃度測定方法標準名稱標號)
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半導體行業廢氣處理後的排氣是否屬於達標排放,關鍵依據是對大氣污染物的濃度測定是否達到國家環保部門制定的污染物濃度測定標準。那麼,半導體行業大氣污染物濃度測定的方法標準有哪些(半導體大氣污染物項目及濃度測定方法標準名稱標號)
半導體行業大氣污染物濃度測定方法標準
半導體行業大氣污染物項目及濃度測定方法標準名稱標號如下:
1、顆粒物
(1)《固定污染源排氣中顆粒物測定與氣態污染物採樣方法》(GB/T 16157)
(2)《環境空氣 總懸浮顆粒物的測定 重量法》(GB/T 15432)
(3)《固定污染源廢氣 低濃度顆粒物的測定 重量法》(HJ 836)
2、硫酸霧
《固定污染源廢氣 硫酸霧的測定 離子色譜法》(HJ 544)
3、氯化氫
(1)《固定污染源排氣中氯化氫的測定 硫氰酸汞分光光度法》(HJ/T 27)
(2)《固定污染源廢氣 氯化氫的測定 硝酸銀容量法》(HJ 548)
(3)《環境空氣和廢氣 氯化氫的測定 離子色譜法》(HJ 549)
4、氟化物
(1)《大氣固定污染源 氟化物的測定 離子選擇電極法》(HJ/T 67)
(2)《環境空氣 氟化物的測定 濾膜採樣/氟離子選擇電極法》(HJ 955)
5、氮氧化物
(1)《固定污染源排氣中氮氧化物的測定 紫外分光光度法》(HJ/T 42)
(2)《固定污染源排氣中氮氧化物的測定 鹽酸萘乙二胺分光光度法》(HJ/T 43)
(3)《固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 非分散紅外吸收》(HJ 692)
(4)《固定污染源廢氣 氮氧化物的測定 定電位電解法》(HJ 693)
6、氰化氫
《固定污染源排氣中氰化氫的測定 異煙酸-吡唑啉酮分光光度法》(HJ/T 28)
7、氯氣
《固定污染源排氣中氯氣的測定 甲基橙分光光度法》(HJ/T 30)
8、氨
(1)《環境空氣和廢氣 氨的測定 納氏試劑分光光度法》(HJ 533)
(2)《環境空氣 氨的測定 次氯酸鈉-水楊酸分光光度法》(HJ 534)
9、錫及其化合物
(1)《空氣和廢氣 顆粒物中鉛等金屬元素的測定 電感耦合等離子體質譜法》(HJ 657)
(2)《空氣和廢氣 顆粒物中金屬元素的測定 電感耦合等離子體發射光譜法》(HJ 777)
(3)《大氣固定污染源 錫的測定 石墨爐原子吸收分光光度法》(HJ/T 65)
10、異丙醇
《固定污染物源廢氣 揮發性有機物的測定 固相吸附—熱脫附/氣相色譜—質譜法》(HJ 734)
11、苯、苯系物
(1)《環境空氣 揮發性有機物的測定 吸附管採樣-熱脫附/氣相色譜-質譜法》(HJ 644)
(2)《固定污染源廢氣 揮發性有機物的測定 固相吸附-熱脫附/氣相色譜-質譜法》(HJ 734)
(3)《環境空氣揮發性有機物的測定罐採樣/氣相色譜-質譜法》(HJ 759)
12、甲醛
(1)《空氣質素 甲醛的測定 乙酰丙酮分光光度法》(GB/T 15516)
(2)《環境空氣 醛、酮類化合物的測定高效液相色譜法》(HJ 683)
13、非甲烷總烴
(1)《固定污染源廢氣 總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定 氣相色譜法》(HJ 38)
(2)《環境空氣 總烴、甲烷和非甲烷總烴的測定 直接進樣-氣相色譜法》(HJ 604)
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