為滿足太陽能、光能行業，半導體行業即CVD化學氣體沉積工藝中產生的矽烷氣體淨化，矽烷廢氣可使用不鏽鋼矽烷燃燒塔。

矽烷性質

矽烷也稱矽烷，化學分子式SiH4的一種化合物，該氣體無色無臭，密度1.44克/升，熔點-185℃，沸點-111.8℃，不溶於水。在室溫下矽烷是一種易燃氣體，在空氣中無需加火源，矽烷就可以自然，生成二氧化矽和水，並放出大量的熱量，可被一般氧化劑氧化。

矽烷燃燒塔原理

矽烷燃燒塔通常採用優質不鏽鋼原料進行製造，根據矽烷與空氣接觸而自燃的特點，使矽烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒後的氣體穿過填料層再進入燃燒塔噴淋室，經過噴霧處理，使廢氣與中和循環液接觸反應，然後進入脫液器脫液處理後由抽風機排入大氣。

矽烷燃燒塔操作及維護注意事項

1. 不鏽鋼矽烷燃燒淨化塔要保證負壓在200帕左右;
2. 設備真空泵後面必須加應急燃燒筒; 
3. 不鏽鋼矽烷燃燒塔必須採用雙風機抽風，一個使用一個備用; 
4. 矽烷燃燒淨化裝置必須加裝調節閥; 
5. 風機進風口的電動調節閥必須與風機聯動。

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