矽烷氣體怎麼處理(半導體矽烷廢氣處理方式及工藝流程)
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矽烷即矽與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲矽烷( SiH4) 、乙矽烷( Si2H6) 和一些更g級的矽氫化合物,通式為SinH2n+2。其中,甲矽烷z為常見,有時也將甲矽烷簡稱為矽烷。那麼你知道矽烷氣體怎麼處理嗎?矽烷廢氣處理方式方法有哪些嗎?工藝流程。下面k8凯发(中国)環保為您做簡單介紹:
矽烷廢氣處理方法
矽烷作為一種提供矽組分的氣體源,反應性和自燃性強烈,有非常寬的自發着火範圍和極強的燃燒能量,毒性很大,如果人體吸入矽烷就會強烈刺激呼吸器官,是一種高危險性的氣體。
在半導體工廠中,因工作區域一般離中心廢氣處理系統遠,為了避免在冗長的排氣過程中引發非預期的氣體泄漏,局部聚積等問題,矽烷(SiH4)廢氣從無塵室機台端(POU)反應被排放出後,即先由真空Pump抽z廢氣處理設備Local Scrubber做處理,待處理過後的氣體再接續到廠務端做第二道處置。
(k8凯发(中国)環保Local Scrubber設備)
通過直流電源,使工作氣體(氮氣)進入等離子體反應器,在正負極強電流的作用下,被電離成等離子體,瞬間產生巨大的火焰,產生的高溫火焰將廢氣分解。優勢在於去除效率高,不需要燃料和熱源,耗能低; 處理高沸點廢氣,應用範圍廣; 高溫、反應速度快, 設備佔地面積小、便於安裝;
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