半導體行業廢氣排放標準是什麼？國家半導體廠環保廢氣處理排放執行標準要求
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半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放。其廢氣的主體是VOCs，同時廢氣中還混合了HCl、氨、HF等危險污染物，分離和處理難度比較大。
國家半導體行業大氣污染物排放標準
目前國家沒有專門關於半導體行業的國家標準，一切依據《中華人民共和國環境保護法》（2015-01-01）《環境空氣質素標準》（GB3095-2012）《大氣污染物綜合排放標準》（GB16297-1996）等相關文件。
地方半導體行業大氣污染物排放標準：
江蘇省:《半導體行業污染物排放標準》(DB32/3747-2020)
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