多晶矽廢氣主要為酸鹼廢氣和有機廢氣兩種，因其廢氣成分不同，它的處理工藝流程也有所不同，本文為您介紹的是3種多晶矽廢氣處理工藝流程。

多晶矽廢氣處理工藝流程一

多晶矽廢氣處理工藝流程一般包括以下步驟：

1. 廢氣收集：將多晶矽生產過程中產生的廢氣集中收集起來，以便後續處理。
2. 預處理：廢氣中含有大量的固體顆粒物和液體污染物，需要進行預處理，以防止這些物質對後續處理設備造成損壞。一般採用過濾器和除塵器等設備對廢氣進行預處理。
3. 酸鹼中和：多晶矽廢氣中常常含有大量的酸性氣體和鹼性氣體，需要進行中和處理，以防止對環境和設備造成影響。一般採用酸性氣體和鹼性氣體中和劑等設備進行中和處理。
4. 氧化處理：廢氣中可能含有一些有機污染物，需要進行氧化處理，以將其轉化為無害物質。一般採用氧化塔等設備進行氧化處理。
5. 吸附處理：廢氣中的一些有害物質需要進行吸附處理，以將其去除。一般採用活性炭吸附劑等設備進行吸附處理。
6. 排放：經過處理的廢氣達到國家或地區的環保標準後，可以安全排放到大氣中。

多晶矽廢氣處理工藝流程二

1. 將含氯空氣送入廢氣處理塔。
2. 氯氣與鹼液中的NaOH反應生成NaClO、NaCl和H2O。
3. 使用事故風機抽出塔頂經處理達標的氣體放空。
4. 液體靠位差流入鹼液循環槽，再用鹼液循環泵抽出，經鹼液循環冷卻器用循環冷卻水冷卻後，送入廢氣處理塔頂用作吸收劑。
5. 當循環鹼液中NaOH濃度降到2~3%(w)時，停止使用工作槽中的鹼液，切換到鹼液循環備用泵，將備用槽中貯存的濃度為15%(w)的新鮮NaOH溶液送入廢氣處理塔吸收氯氣。

多晶矽廢氣處理工藝流程三

1. 焚燒：將多晶矽廢氣送入焚燒爐進行高溫氧化處理，使氯化矽烷得到徹底分解，生成二氧化矽、氯化氫等。
2. 餘熱回收：焚燒後的高溫煙氣中含有大量熱量，將其通入餘熱鍋爐進行降溫處理，同時回收其中餘熱，利用煙氣餘熱來對脫鹽水處理，將其變為蒸汽回收利用。
3. 二氧化矽回收：將經過餘熱回收的煙氣通過過濾器進行氣固分離，消除煙氣中含有的二氧化矽粉塵。
4. 急冷：對經過二氧化矽回收處理的煙氣進行急冷，以防止高溫下的二氯二氫矽發生水解反應。
5. 鹽酸回收：將經過急冷的煙氣通過石墨換熱器與冷卻水換熱冷卻後繼續進行噴淋降溫，並回收煙氣內含有的鹽酸。
6. 洗滌塔處理：將經過鹽酸回收處理的煙氣再經過鹼液洗滌塔淋洗後，利用氣水分離器處理後排放。

多晶矽廢氣處理工藝流程圖

以上就是《3種多晶矽廢氣處理工藝流程（附流程圖）》的全部內容，希望對您有所幫助。k8凯发(中国)環保集團是工業廢氣治理系統解決方案提供商，為企業客戶提供廢氣治理一站式服務（系統規劃、工藝設計、產品設計、設備生產及供貨、現場安裝集成、系統調試及智慧運維）。如您有多晶矽廢氣處理的需求，即刻聯繫我們吧！服務熱線：13811148535（同微信）/ 4009655098。

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