多晶矽行業廢氣處理方法有哪些（2種多晶矽廢氣處理方法）
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多晶矽行業產生的廢氣對環境和人類危害較大。那麼，多晶矽行業廢氣處理方法有哪些？
多晶矽行業廢氣處理方法
主要有以下2種：
- 鹼液噴淋塔處理法：多晶矽生產中廢氣、廢液直接進入鹼液噴淋塔，生成NaCl、CaCl2、SiO2(粉)、Na2SiO3等，然後送到後續的廢水處理，進行進一步脫鹽和固體廢物處理；出噴淋塔的尾氣排空。
- 蓄熱焚燒處理法：多晶矽生產裝置中產生的廢氣、廢液通過緩衝罐緩衝後，進入焚燒爐進行高溫氧化反應，把氯矽烷徹底有效地分解，生成SiO2、HCl等，出焚燒爐的高溫煙氣含有大量的熱量，進入餘熱鍋爐進行降溫並回收煙氣中的餘熱，利用煙氣的餘熱間接加熱脫鹽水，使其變成蒸汽回用；煙氣經餘熱鍋爐降溫後進入過濾器進行氣固分離，去除煙氣中的SiO2粉塵；除塵後的煙氣進入急冷塔，通過水的噴淋降低煙氣溫度，噴淋降溫塔出來的鹽酸經過石墨換熱器與冷卻水換熱冷卻後進入噴淋裝置繼續對煙氣進行降溫，除塵降溫後的煙氣進入鹽酸回收裝置回收鹽酸，剩餘煙氣中少量的Cl2和HCl通過鹼液淋洗塔淋洗，後經氣水分離器將處理後的煙氣通過引風機進入煙囪排放。
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