通常廢氣處理在選擇工藝路線時，應先根據廢氣的來源、性質(溫度、壓力、組分)及流量等因素進行綜合分析，之後再選定所需的廢氣處理工藝。

根據吸附劑再生方式和解吸氣體後處理方式的不同，可選用的廢氣處理工藝有：

1. 水蒸氣再生——冷凝回收工藝;
2. 熱氣流(空氣或惰性氣體)再生——冷凝回收工藝;
3. 熱氣流(空氣)再生——催化燃燒或者高溫焚燒工藝;
4. 降壓解吸再生——液體吸收工藝。

連續穩定產生的廢氣可以採用固定床、移動床(包括轉輪吸附裝置)和流化床吸附裝置，非連續產生或濃度不穩定的廢氣宜採用固定床吸附裝置。當使用固定床吸附裝置時，宜採用吸附劑原位再生工藝。

當廢氣中的有機物具有回收價值時，可根據情況選擇採用水蒸氣再生、熱氣流(空氣或惰性氣體)再生或降壓解吸再生工藝。脫附後產生的高濃度氣體可根據情況選擇採用降溫冷凝或者液體吸收的有機廢氣處理工藝對有機物進行回收。

當廢氣中的有機物不宜回收時，宜採用熱氣流再生工藝。脫附產生的高濃度有機廢氣採用催化燃燒或高溫焚燒工藝進行銷毀。

當廢氣中的有機物濃度高且易於冷凝時，宜先採用冷凝工藝進行有機廢氣處理並回收，然後再進行餘下廢氣的吸附淨化。

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