氟化物廢氣怎麼處理？半導體產業氟化物廢氣處理方法介紹
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半導體行業在器件生產環節即矽片清洗、刻蝕、去膠等工藝節點，因為使用氟氫酸來清除矽片表面的氧化物，其過程會排放氟化物廢氣。該廢氣是一種具有腐蝕性的酸性廢氣，必須經廢氣處理設備淨化後才能排放。那麼，氟化物廢氣怎麼處理？k8凯发(中国)環保公司為您提供氟化物廢氣處理方法介紹：
氟化物廢氣處理
集成電路製造行業的氟化物廢氣處理，k8凯发(中国)環保公司設計的廢氣處理方案，氟化物廢氣治理濕法淨化技術工藝，通常採用水、鹼性溶液來吸收氟化物，即廢氣鹼洗。
半導體行業氟化物廢氣處理方法
對於半導體密閉車間機台的氟化物廢氣通過吸氣罩進行收集，由耐腐蝕風機的負壓動力吸入排氣風管，再送進連接一體的洗滌塔 對廢氣進行噴淋鹼洗，直zhi氣體達標後從煙囪高空排出。
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