半導體特氣有哪些（半導體行業特種氣體分類）
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半導體特氣在半導體製造過程中起着非常重要的作用，對於器件的性能和穩定性有着重要影響。那麼，半導體特氣有哪些？
半導體行業特種氣體分類
- 矽族氣體：含矽基的矽烷類，如矽烷、二氯二氫矽等。
- 摻雜氣體：含硼、磷、砷等三族及五族原子之氣體。
- 蝕刻清洗氣體：含鹵素的鹵化物及鹵碳化合物。
- 反應氣體：以碳系及氮系氧化物為主。
- 金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機烷類金屬。
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