半導體行業酸排鹼排包括哪些氣體（半導體酸鹼排廢氣種類）
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在半導體製造過程中，需要對酸、鹼排氣體採取相應的排放處理措施，確保符合相關環保標準，否則會對環境和人類健康造成危害。那麼，半導體行業酸排鹼排包括哪些氣體？本文告訴您半導體酸鹼排廢氣種類。
半導體酸鹼排廢氣種類
半導體行業酸排鹼排主要包括以下氣體：
- 酸排，即酸性排氣，半導體行業酸排廢氣種類主要包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。
- 鹼排，即鹼性排氣，半導體行業鹼排廢氣種類主要包括氮氧化物、二氧化硫、硫化物、硫氧化物等。
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